1、流量控制。
一些應用程序使用具有恒定質量流量的流量調節器長時間。典型的例子包括人工氣氛的生產,例如半導體制造在前端進行涂層和在后端進行鍵合所需的那些。這種類型的負載對于壓電閥來說很容易,因為它涉及一個幾乎沒有能量消耗的穩定狀態。但對于脈寬調制開關閥來說,這將是一個極其沉重的負載——無論是在能量方面還是在機械方面。
2、處理易碎工件。
移動敏感工件的一種方法是雙作用氣缸的“速度控制器”。這使氣缸可以執行速度控制的無沖擊運動。它需要四個壓電閥連接到一個控制器,形成一個可以連接到雙作用氣缸的系統。通過保持恒定的氣缸排氣流量來控制速度。這種低成本的系統不需要昂貴的位移編碼器,并且可以執行平穩的啟動和制動。
3、應用粘合劑。
為了防止氣動施加粘合劑后滴落,在施加預定量的膠水后施加真空。這在組裝小零件時需要計量。傳統的涂抹器通常需要兩個閥門:一個用于施加真空,第二個用于施加正壓。壓電閥更準確、更快、更高效,只需一個閥門即可控制壓力和真空。
4、拋光晶圓。
壓電閥非常準確,可以快速達到預選的設定點。這使得它們非常適合需要精確計量少量空氣以精確加工工件的半導體應用。例如,在拋光晶片時,每個晶片必須以精確控制的壓力壓在旋轉的拋光臺上。在該過程的一個步驟中,用不同的力將幾個隔膜環壓在晶片上。這些環必須在真空和壓力方面進行精確控制。壓電閥將這兩種功能結合在一個緊湊型閥門中。
5、醫用呼吸機。
用于醫療用途的移動呼吸機必須輕便、緊湊,并且可以使用電池供電長時間運行。許多患者在睡覺時依靠這些裝置獲取氧氣,因此機器應盡可能減少噪音。壓電閥已經在這些機器中使用,因為它們具有耐用性、準確性、小尺寸和功率需求以及安靜的操作。
6、外科眼科。
壓電閥控制用于白內障手術的氣動工具,這是最常見的外科手術之一。這項手術是治療白內障、進行性或與年齡相關的晶狀體混濁的唯一方法。在手術中,患者的渾濁晶狀體被移除并替換為人工人工晶狀體(IOL)。使用的手術工具是氣動操作的。壓電閥控制壓力和真空,對于處理各種液體至關重要,包括房水(眼睛中的天然液體)和替代溶液(輸液)。更換房水時,壓電閥可精確計量和調節流量。
7、汽車座椅舒適度。
壓電閥是一項艱巨的工作,它可以默默地填充和排空駕駛員和乘客下方的氣墊。這使乘坐更加舒適。內置于座椅側板和靠背中的氣囊根據駕駛情況進行填充。發送到各種充氣枕頭的氣壓變化取決于轉向角、橫向加速度和行駛速度。例如,該系統在左轉時更多地為靠背右側的氣室充氣。由于其特性清單,壓電閥正在新舊產品中找到新用途。